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HEIDENHAIN海德汉直线光栅尺 LB 382_德国 Heidenhain 海德汉
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HEIDENHAIN海德汉直线光栅尺 LB 382_德国 Heidenhain 海德汉

商品货号:1505440735

商品品牌:HEIDENHAIN海德汉

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商品描述


干涉扫描原理  干涉扫描原理是利用精细光栅的衍射和干涉形成位移的测量信号。 阶梯状光栅用作测量基准:高度0.2 µm的反光线刻在平反光面中。光栅尺前方是扫 描掩膜,其栅距与光栅尺栅距相同,是透射相位光栅。 光波照射到扫描掩膜时,光波被衍射为三束光强近似的光:-1、0和+1。光栅尺衍 射的光波中,反射的衍射光的光强最强光束为+1和-1。这两束光在扫描掩膜的相位 光栅处再次相遇,又一次被衍射和干涉。它也形成三束光,并以不同的角度离开扫
描掩膜。光电池将这些交变的光强信号转化成电信号。

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